Metrology CD SEM

The purpose of the Tender is TNO's intention to enter a Contract with one (1) Contractor for the supply and delivery of one (1) Critical Dimension Scanning Electron Microscope (hereinafter: the equipment). The equipment should be capable of handling 6” InP wafers and provide highly automatic measurement functionalities. Additional functions and features that facilitate the use for photonic integrated circuit designs (such as the capability to analyse curved waveguide structures) is highly preferred. Het doel van de aanbesteding is dat TNO een contract wil sluiten met één (1) aannemer voor de levering van één (1) kritische dimensie scanning-elektronenmicroscoop (hierna: de apparatuur). De apparatuur moet geschikt zijn voor het verwerken van 6” InP-wafers en zeer geautomatiseerde meetfuncties bieden. Extra functies en...