Dual‑beam FIB/SEM system

Het doel van de aanbesteding is dat TNO een contract wil sluiten met één (1) contractant voor de levering/aflevering van een lithografisch FIB-systeem. De afdeling Quantumtechnologie van TNO richt zich op de ontwikkeling van kwantum- en fotonische apparaten op nanoschaal. Een van de belangrijkste pijlers van het onderzoek en de ontwikkeling is het gebied van nanofabricage. In Delft - Nederland - is al een uitgebreide infrastructuur met apparatuur voor nanotechnologie aanwezig. Om de mogelijkheden in het wetenschappelijke ecosysteem van Delft verder te verbeteren - maar vooral ook om de controle van TNO op nanotechnologie te versterken - is de afdeling Quantumtechnologie geïnteresseerd in de aanschaf van een FIB-SEM-ionlithografieplatform. Focused Ion Beam (FIB)-technologie is een krachtige methode voor het bewerken van verschillende materialen en het...